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FCS Thermal Series（マスフローコントローラー）強制OPEN・強制CLOSE機能とは？

質問
FCS Thermal Series（マスフローコントローラー）強制OPEN・強制CLOSE機能とは？
回答
強制OPEN/CLOSE機能　
FCS Thermal Series（マスフローコントローラー）流量信号と流量出力信号が常に一致するように制御を行っていますが、
流量設定信号に関係なく、マスフローコントローラ内の制御バルブを、強制的に全開あるいは全閉にする機能です。

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