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【マスフローコントローラー】強制OPEN・強制CLOSE機能とは？
- 質問
- 【マスフローコントローラー】強制OPEN・強制CLOSE機能とは？
- 回答
- 強制OPEN/CLOSE機能とは
マスフローコントローラー（FCS Thermal Series）流量信号と
流量出力信号が常に一致するように制御を行っていますが、
流量設定信号に関係なく、マスフローコントローラ内の制御バルブを、強制的に全開あるいは全閉にする機能です。
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