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FCS Thermal Series（マスフローコントローラー） 「FCST1030C-4F2-F10L-0.05%NH3」を外部流量設定、制御周期は？

質問
FCS Thermal Series（マスフローコントローラー）
「FCST1030C-4F2-F10L-0.05%NH3」を外部流量設定、制御周期は？
回答
応答時間は、規定された圧力条件下において、設定の±2%以内で安定制御するまでの時間です。
FCSは常に設定と出力が同じになるよう比較制御を行なっていますので、設定と出力が異なる場合は、正常な圧力条件となっていない、或いは、FCS内部のコンタミ他が原因として考えられます。

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